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N6RF制程是6纳米。台积电首次推出6纳米RF(N6RF)制程,将先进的6纳米逻辑制程所具备的功耗、效能、面积优势带入到5G射频(RF)与WiFi6/6e解决方案,较前一代的16纳米射频技术,N6RF电晶体的效能提升超过16%。