euv和duv区别

euv和duv区别：1、制程范围不同。duv：基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到了10nm，却无法达到10nm以下。euv：能满足10nm以下的晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。2、发光原理不同。duv：光...