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ALD设备指的是原子层沉积设备,是一种用于制备薄膜材料的高级化学气相沉积技术装置。ALD设备是一种高精度、大批量、均匀薄膜材料制备技术,在电子器件纳米科技等领域有重要应用,特别是在化学气相沉积过程中,它可以制备出均匀厚度的薄膜。ALD设备可...